5-osno glodani keramički izolatori za poluprovodničku opremu i čiste sobe

U svijetu proizvodnje poluprovodnika i čistih soba s visokim ulozima, svaka komponenta mora pružiti besprijekorne performanse.PFT, specijalizirani smo za zanatske radove5-osno glodani keramički izolatorikoji redefiniraju preciznost i pouzdanost. Sa preko 20+Zahvaljujući dugogodišnjem iskustvu, naša rješenja su konstruirana da zadovolje stroge zahtjeve poluprovodničke opreme, osiguravajući termičku stabilnost, električnu izolaciju i rad bez kontaminacije u ultraosjetljivim okruženjima.

Zašto odabrati naše keramičke izolatore glodane na 5 osi?

1.Napredne proizvodne mogućnosti

Naš objekat je opremljen sanajsavremenije 5-osne CNC glodalice, što omogućava mikronsku tačnost u oblikovanju napredne keramike poput aluminijevog oksida (Al₂O₃), silicijum karbida (SiC) i aluminijum nitrida (AlN). Za razliku od konvencionalnih metoda, 5-osna obrada omogućava složene geometrije – ključne za komponente poput igli za podizanje pločica, dijelova komore za taloženje i izolatora otpornih na plazmu.

Ključne karakteristike:

•Preciznost:Tolerancija od ±0,005 mm za besprijekornu integraciju u ASML litografske alate ili Lam Research sisteme za nagrizanje.
•Svestranost materijala:Optimizovano za 99,8% aluminijum oksida, SiC visoke čistoće i drugu naprednu keramiku.
•Površinska obrada:Ra <0,2 μm za minimiziranje stvaranja čestica u čistim sobama ISO klase 1.

2.Vlasnički procesni inženjering

Naši inženjeri su razvilikontrole procesa zatvorene petljekoji se prilagođavaju krhkosti keramike tokom obrade. Kombinacijom tehnika suhog glodanja s prigušivanjem vibracija u stvarnom vremenu, postižemo površine bez pukotina i produženi vijek trajanja komponenti - čak i pod ekstremnim termičkim ciklusima (do 1.600°C).

Inovacije u fokusu:

•Protokoli za ublažavanje stresa:Minimizirajte mikropukotine u AlN izolatorima za CVD primjene.
•Tretmani nakon mašinske obrade:HIP (vruće izostatsko presovanje) povećava gustinu i otpornost na koroziju.

3.Rigorozno osiguranje kvaliteta

Svaki izolator prolazi kroz12-stepena inspekcija, uključujući:

•CMM (Koordinatna mjerna mašina)validacija kritičnih dimenzija.
•Ispitivanje curenja helijaza kompatibilnost s vakuumom.
•EDS (energetski disperzivna rendgenska spektroskopija)kako bi se provjerila čistoća materijala.

NašSistem certificiran prema ISO 9001/14001osigurava sljedivost od nabavke sirovina (nabavljenih od dobavljača prvog nivoa kao što je CoorsTek) do konačnog pakovanja.

Primjene: Gdje se preciznost susreće s performansama

Naši izolatori su pouzdani u:

•Alati za nagrizanje i taloženje:Komponente obložene SiC-om za otpornost na plazmu u modulima Applied Materials™.
•Ionski implantatori:Klinovi za podizanje od aluminija s antistatičkim premazima za sprječavanje klizanja pločice.
•Metrološki sistemi:Izolatori niskog termičkog širenja za EUV litografske platforme.

Studija slučaja:Vodeći proizvođač originalne opreme za poluprovodnike smanjio je zastoj alata za 40% nakon prelaska na naše posebno dizajnirane SiC tuševe, koji su nadmašili konkurentske dijelove u obradi 300 mm pločica.

Više od proizvodnje: Partnerski pristup

•Brzo prototipiranje:Pošaljite svoje CAD datoteke i primite funkcionalne prototipove u roku od 7 dana.
•Pakovanje za čiste prostorije na licu mjesta:Opcioni sklop za čiste sobe klase 10 za direktnu integraciju alata.
•Doživotna tehnička podrška:Naši inženjeri pružaju analizu habanja i usluge ponovne mašinske obrade kako bi produžili životni ciklus komponenti.